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【兆恒機械】半導體設備真空腔體密封面解決方案

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  • 添加日期:2022年03月17日

Belt Track Finisher (帶式磨削) 加工裝置。

  Belt Track Finisher (帶式磨削)加工裝置是實現(xiàn)超真空面密封無研磨加工的另一項場景應用,是加工中心直接將真空裝置的密封面加工成高品質(zhì)量,實現(xiàn)其表面實現(xiàn)超高真空密封效果的可行性方案之一。

  Belt Track Finisher (帶式磨削)加工裝置:




  傳統(tǒng)的加工方式,由于刀具旋轉(zhuǎn)會產(chǎn)生從內(nèi)側(cè)到外側(cè)的切削痕跡。

  真空密封面中氦氣沿著切削痕跡泄漏,無法維持真空。

  為了保持高真空狀態(tài),必須進行研磨作業(yè)。

  帶式磨削精加工裝置,研磨紋理可以跟工具前進方向平行運動,沒有從內(nèi)側(cè)到外側(cè)的切削痕跡,因此真空面沒有泄露。



  加工特點

  ?沿工具前進方向平行的研磨紋理

  ?沒有真空泄露方向的切削痕跡




  關鍵技術

  ?新開發(fā)的接觸輪,提高研磨效率

  ?帶式磨削工藝,不留切削痕跡

  ?更換砂帶簡單,自動調(diào)整張力

  ?無需氣管、電線。可使用 ATC,實現(xiàn)連續(xù)加工

  ?選擇不同的砂帶寬度和顆粒度,可以加工多種材料



  加工案例