零部件分類：
l模組件：分為EFEM（傳送模塊）、傳送腔體、反應腔體，還有部署設備（氣柜、電柜）、清洗組件、冷卻組件（CM）。
l零部件：
1）金屬件：一般包括鋁錠（純鋁，用作腔體）、不銹鋼（用作骨架）、鋁合金為原料制作的產(chǎn)品，目前國產(chǎn)化率最高。
2）非金屬件：陶瓷件、石英件、石墨。
3）氣柜：主要用世偉洛克的產(chǎn)品；其中的氣體管路等配件主要用的SMC、VAT的產(chǎn)品。氣柜產(chǎn)品有的是廠家自己制作的，有的是委托下游廠商制作的，例如富士金、VAT、UCT。
4）儀表類：主要是流量計，目前主要用SMC和日本津市的多一些。
5）射頻電源：主要用的MKS產(chǎn)品。
6）閥門：主要用的VAT和SMC，VAT的產(chǎn)品是用的最多的，國內(nèi)也是用這兩家多一些。但是應材的產(chǎn)品是自己定制的，不采用現(xiàn)有的模塊。
7）泵：常用的就是德國普旭和愛德華，愛德華用的是最多的。
8）管路連接：與氣柜連接的管路主要是四家的產(chǎn)品，MKS、VAT、UCT、富士金。
國產(chǎn)化進度：目前不論是國內(nèi)還是國外設備廠商都是用的上面這些廠商的產(chǎn)品，很少用國內(nèi)沒有認證的零部件產(chǎn)品。除了金屬加工件這種常見的產(chǎn)品外，其他的氣體管路、氣柜、儀表、電源、閥門、泵之類的，都是用的國際大品牌。
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