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半導體精密陶瓷件應用及市場概況

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  • 添加日期:2022年12月03日

在半導體芯片設備中,精密陶瓷零部件的成本約占1%左右,當前市場基本被美國、日本等發(fā)達國家壟斷。如何實現(xiàn)半導體設備中先進陶瓷部件的國產(chǎn)化,是當前國內(nèi)先進陶瓷企業(yè)面臨的巨大機遇與挑戰(zhàn)。同時,隨著新能源汽車、5G、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等行業(yè)的蓬勃發(fā)展,以碳化硅、氮化鎵為代表的第三代寬禁帶半導體材料產(chǎn)業(yè)規(guī)模不斷擴大,先進陶瓷在半導體行業(yè)將迎來更大的應用市場。

 

由于陶瓷具有高硬度、高彈性模量、高耐磨、高絕緣、耐腐蝕、低膨脹等優(yōu)點,可用作硅片拋光機、外延/氧化/擴散等熱處理設備、光刻機、沉積設備,半導體刻蝕設備,離子注入機等設備的零部件。半導體陶瓷有氧化鋁、氮化硅、氮化鋁、碳化硅等

 

一、精細陶瓷(或先進陶瓷)

主要為高熔點的氧化物、碳化物、氮化物等燒結(jié)材料。其原材料是經(jīng)過一系列人工合成或提煉處理過的化工原料,采用超精微細粉體(亞微米及納米微粉)經(jīng)過超高溫高壓燒結(jié)后制成,具備優(yōu)異的耐高溫、耐磨、耐腐蝕、絕緣等特性,在許多重要的領域得到了越來越廣泛的應用。

 

精密陶瓷件市場應用:

1. 半導體/液晶顯示器

2. IT/多媒體

3. 電子設備

4. 工業(yè)制造設備

5. 醫(yī)療設備

6. 精密儀器

 

二、碳化硅陶瓷

碳化硅是硬度僅次于金剛石的材料,它比其他陶瓷材料具有更好的耐熱性、耐磨損性,在特別高溫度的情況下(1700°C)其強度都不會降低,屬于高溫構(gòu)造材料,在許多重要領域具有廣泛的應用

 

主要用途:

半導體制造裝置用品:燃燒器噴嘴等

 碳化硅.png

三、氮化鋁陶瓷

具有很好的熱傳導性、絕緣性、防熱性、耐熱沖擊性,可被用作防熱耐熱材料

 

主要用途:

半導體制造裝置用部品:防熱性基材等

氮化鋁.png

三、三氧化二鋁陶瓷

氧化鋁為主要成分,有較好的絕緣性和耐磨性能,價格便宜。作為精密陶瓷材料的代表,使用最為廣泛。高純度的氧化鋁(純度99%以上)適用與制作半導體制造設備部件

主要用途:

1. 半導體制造設備裝置腔體內(nèi)部件:搬送部件

2. 液晶制造裝置部件:真空裝置部件

3. 一般產(chǎn)業(yè)機械部件等

三氧化二鋁.png

四、氮化硅陶瓷

與氧化鋁相比氮化硅具備高溫強度、耐熱沖擊性更佳,作為耐熱復合構(gòu)造材料被廣泛應用

產(chǎn)品用途:

半導體制造裝置部件:燃燒噴嘴,溶解治具等


五、氧化鋯陶瓷

 

氧化鋯為主要成分,有著其他材料無法達到的強度與破壞韌性,非常適合于高腐蝕,高強度的環(huán)境

 

主要用途:

半導體搬送用軌道部件:軸承部件,工業(yè)用道具等

 氧化鋯.png

圖片來源:太和熱磁

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